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Die verschiedenen Linien innerhalb einer Serie haben unterschiedliche 
Intensitäten. Die a-Linien haben die stärkste Intensität, da Übergänge 
zwischen benachbarten Elektronenschalen häufiger auftreten als andere. Da 
es sich um Elektronenübergänge in den inneren Schalen handelt, sind die 
Energien der abgegebenen Röntgenquanten unabhängig vom Bindungszu 
stand der Elemente. Die Energien der einzelnen Röntgenlinien identifizieren 
jedes einzelne Element. Im allgemeinen reicht schon die K a -Linie aus, um 
das betreffende Element zu bestimmen, in selteneren Fällen müssen weitere 
Linien herangezogen werden. 
Die Intensität der Linien läßt Rückschlüsse auf die Konzentration des 
vorliegenden Elementes zu. Allerdings ist keine einfache Beziehung bekannt, 
welche die Intensitäten der Linien beschreibt. Unter anderem hängen sie von 
der Absorption durch Probe und Probenträger und von der Effizienz des 
Spektrometers ab. Einen großen Einfluß auf die Intensität einzelner 
Röntgenlinien hat der Auger-Effekt. Denn es wird nur ein Teil der Energie, 
die beim Zurückfallen äußerer Elektronen auf innere Schalen frei wird, als 
Röntgenstrahlung abgestrahlt, ein anderer führt zur Aussendung von Auger- 
Elektronen. Je mehr Auger-Elektronen ausgesandt werden, desto weniger 
intensiv ist die betreffende Röntgenlinie. 
Das Verhältnis der in einer Zeiteinheit von einer Serie emittierten Photonen 
zu den in der gleichen Zeiteinheit geschaffenen Leerstellen in der 
entsprechenden Schale wird als Fluoreszenzausbeute definiert. Die Fluores 
zenzausbeute hängt von der Ordnungszahl ab, wie in Abbildung 5 dargestellt 
ist. Daraus geht hervor, daß bei Elementen mit niedrigerer Ordnungszahl 
mit einer geringeren Empfindlichkeit der RFA gerechnet werden muß.